line scan, area scan, tdi scan

•Line Scan

•복사기와 같이 카메라가 움직이면서 촬영

•높이에 대한 제약이 없음

•움직이는 개체를 촬영하는데 적합

•Area Scan

•정지된 화상 촬영 적합

•높이에 제약이 있음

•Line Scan 단점

•노출 시간이 짧아 감도가 약함

•TDI Line Scan으로 단점 극복

•TDI (Time Delayed Integration) Line Scan

셀로판지에 그려진 흐릿한 이미지를 겹치면 선명해지는 원리

•TDI (Time Delayed Integration) Line Scan

•여러 개의 라인 형태의 픽셀을 사용하여
검사체의 같은 부분을 중복으로 촬영

•앞의 Stage가 뒤의 Stage 보다 더 빠르게 촬영

•Time Delayed 이름 붙여진 이유

•적은 광량으로도 고성능을 낼 수 있어서
낮은 조명 수준에서 더 좋은 결과 얻어냄